يكي از روشهاي لايه نشاني از فاز بخار است كه به طورعمده براي توليد فيلم فلزات از نانو تا ميكرو ميباشد و تحت شرايط كنترل شده ميتوان نانوذراتي 3 نانومتري هم به اين شيوه بدست آورد.